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Titelaufnahme

Titel
Bildung von amorphen Metalldünnfilmen mittels thermischer Gasphasenabscheidung / eingereicht von Florian Kepplinger
VerfasserKepplinger, Florian
Begutachter / BegutachterinHassel, Achim Walter
ErschienenLinz, 2017
UmfangV, 59 Blätter : Illustrationen
HochschulschriftUniversität Linz, Masterarbeit, 2017
SpracheDeutsch
DokumenttypMasterarbeit
URNurn:nbn:at:at-ubl:1-18368 Persistent Identifier (URN)
Zugriffsbeschränkung
 Das Werk ist gemäß den "Hinweisen für BenützerInnen" verfügbar
Dateien
Bildung von amorphen Metalldünnfilmen mittels thermischer Gasphasenabscheidung [3.29 mb]
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Klassifikation
Zusammenfassung (Deutsch)

Diese Arbeit beschäftigt sich mit der Bildung von amorphen Dünnfilmen durch thermische Dampfabscheidung. Hierfür wurden sowohl homoatomare als auch heteroatomare Dünnfilme hergestellt. Für die homoatomaren Proben wurden Kupfer-, Titan- und Zink-Filme auf ein mit flüssigem Stickstoff gekühltes Substrat aufgedampft. Für die heteroatomaren Proben wurden Dünnfilmbibliotheken aus Samarium und Aluminium produziert. Die Abscheidung der einzelnen Proben erfolgt auf Borosilikatglas und auf Siliziumnitrid Substrate. Die Charakterisierung der Proben wurde mittels Rasterkraftmikroskopie, Rasterelektronenmikroskopie, Röntgendiffraktion und Energiedispersive Röntgenspektroskopie durchgeführt. Zusätzlich wurden die Proben fotografisch dokumentiert. Bei den homoatomaren Proben konnten keine amorphen Filme produziert werden. Es konnte zwar die Kristallstruktur verändert werden, jedoch waren alle Proben kristallin. Die heteroatomaren Proben lieferten im Gegensatz dazu amorphe Bereiche. Zusätzlich konnten unerwartete optische Eigenschaften festgestellt werden.