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Bibliographic Metadata

Title
Bildung von amorphen Metalldünnfilmen mittels thermischer Gasphasenabscheidung / eingereicht von Florian Kepplinger
AuthorKepplinger, Florian
CensorHassel, Achim Walter
PublishedLinz, 2017
DescriptionV, 59 Blätter : Illustrationen
Institutional NoteUniversität Linz, Masterarbeit, 2017
LanguageGerman
Document typeMaster Thesis
Keywords (GND)Metall / Dünnschichttechnik / Gasphase / Abscheidung
URNurn:nbn:at:at-ubl:1-18368 Persistent Identifier (URN)
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Bildung von amorphen Metalldünnfilmen mittels thermischer Gasphasenabscheidung [3.29 mb]
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Abstract (German)

Diese Arbeit beschäftigt sich mit der Bildung von amorphen Dünnfilmen durch thermische Dampfabscheidung. Hierfür wurden sowohl homoatomare als auch heteroatomare Dünnfilme hergestellt. Für die homoatomaren Proben wurden Kupfer-, Titan- und Zink-Filme auf ein mit flüssigem Stickstoff gekühltes Substrat aufgedampft. Für die heteroatomaren Proben wurden Dünnfilmbibliotheken aus Samarium und Aluminium produziert. Die Abscheidung der einzelnen Proben erfolgt auf Borosilikatglas und auf Siliziumnitrid Substrate. Die Charakterisierung der Proben wurde mittels Rasterkraftmikroskopie, Rasterelektronenmikroskopie, Röntgendiffraktion und Energiedispersive Röntgenspektroskopie durchgeführt. Zusätzlich wurden die Proben fotografisch dokumentiert. Bei den homoatomaren Proben konnten keine amorphen Filme produziert werden. Es konnte zwar die Kristallstruktur verändert werden, jedoch waren alle Proben kristallin. Die heteroatomaren Proben lieferten im Gegensatz dazu amorphe Bereiche. Zusätzlich konnten unerwartete optische Eigenschaften festgestellt werden.

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