Nano-patterning of high-Tc YBCO superconducting thin films performed for the purpose of creating arrays of artificial defects can lead to novel effects such as enhanced vortex pinning, guided vortex motion or vortex ratchets. One of the ways to manufacture such an array is to irradiate these films with He ions through a silicon stencil mask by means of Masked Ion Beam Structuring (MIBS). This was the main aim of this master thesis. Mittels Nanostrukturierung der hochtemperatur-supraleitenden dünnen YBCO Filme werden Anordnungen von künstlichen Defekten erzeugt, die zu innovativen Effekten führen können, wie verstärktes Pinnen der Flussschläuche, geführte Bewegung der Flussschläuche oder Ratche-Effekt. Einer der möglichen Wege, um eine solche Anordnung zu erzeugen, ist Bestrahlung dieser Filme mit Helium-Ionen durch eine Belichtungsschablone aus Silizium mittels maskierter Ionenstrahlstrukturierung (MISS). Das war der Zweck dieser Masterarbeit.
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